Microtecnología: diario de un proceso. Fabricación de un microacelerómetro
El objetivo de este libro es divulgar las técnicas más utilizadas
para fabricar microsistemas basados en silicio.
La novedad que aporta este trabajo es describir y mostrar
detalladamente el proceso de fabricación de un
Microsistema en una Sala Blanca.
Se ha escogido un microacelerómetro de silicio como
eje del estudio, porque su fabricación representa un
ejemplo claro del uso de tecnologías microelectrónicas
y de tecnologías de micromecanización. Además, el
acelerómetro es uno de los microsistemas más conocidos,
debido a sus aplicaciones y a su éxito comercial.
Se utiliza en sistemas de seguridad o navegación y en
productos de electrónica de consumo, como cámaras
fotográficas, videocámaras o videoconsolas.
En la primera parte del libro se hace una introducción
teórica a los acelerómetros en general y a los acelerómetros
piezorresistivos en particular. En la segunda
parte se muestra día a día su proceso de fabricación,
en el «Diario del Proceso». Para una...
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