Microacelerómetros piezorresistivos basados en tecnología BESOI
Elemento sensor (Puente de Wheatstone)
Los acelerómetros piezorresistivos se basan en el efecto piezorresistivo del silicio. Esta propiedad consiste en el cambio del valor de una resistencia cuando es sometida a un esfuerzo mecánico [20]. Dependiendo del signo del coeficiente piezorresistivo y de si la resistencia es sometida a una compresión o a una tracción, el valor de la resistencia aumenta o disminuye.
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